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理解一下单晶炉热场布局
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在太阳能光伏行业,的优劣间接干系到单晶硅的质量,及格的热场可以生长出高质量的单晶,因而发明精良的热场条件,在直拉单晶工艺上有十分紧张的要素。石墨是单晶生长的载体,石墨在直拉单晶生长炉中以高纯石墨和等静压石墨加工件为主。

依据实践状况的必要,热场的巨细依据石英坩埚的直径巨细来分别的,现在我国热场从φ12"~φ28"都有,一样平常状况下φ18"~φ22"居多。

澳门十大在这里所讲的单晶炉的热体系便是所谓的热场,热场一样平常包罗压环、保温盖、上中下保温罩、(三瓣式)石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,将来避免漏硅,炉底、金属电极、托杆都设置了掩护板和掩护套。

1、加热器

加热器是热场中很紧张的部件,是间接热体,温度较高的时分可以到达1600度以上。罕见的加热器有三种外形,筒状、杯状、螺旋状。一样平常状况下,加热器接纳的高纯石墨加工。

2、石墨电极

石墨电极的作用安稳牢固加热器并经过他岁加热器保送电流。因而在电极要厚重,壮实耐用、外表要平滑安稳,包管精良的打仗面,通电时不打火,石墨电极也是有高纯石墨加工的。

3、石墨坩埚、石墨托杆、石墨托盘

坩埚托杆、坩埚和托盘配合组成了石墨坩埚的支持体,要求和下轴联合结实,对中性精良在下轴举行转动时,托杆及托盘的摆渡小于即是0.5mm石墨支持体的高度是可以调治的。

4、保温罩

保温罩分为上、中、下保温罩,保温罩是由一个保温筒表面包裹石墨碳毡而成,石墨碳毡的包裹的层数依据状况而定。下保温罩构成了底部的保温体系,它作用是增强锅底保温,进步埚底温度,增加热量丧失。

5、保温盖、导流筒

保温盖有保温上盖、保温碳毡和保温下盖构成,即两层环状石墨之间夹一层石墨碳毡构成。导流筒次要是将来控制热场的温度梯度和引导氩气流。

6、压环

石墨压环由几截弧形组成的圆形环状石墨件,安排在盖板与炉壁打仗处,是为了避免热量和睦体从壁炉与盖板的漏洞间的经过。

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